機器一覧 | 微細構造解析分野

主要機器

電界放出型走査電子顕微鏡(FE-SEM/EDS)

分析透過電子顕微鏡(FE-TEM/EDS)

分析透過電子顕微鏡(FE-TEM/STEM/EDS)

構造解析用集束イオンビーム装置(FIB-SEM/EDS/EBSD)

集束イオンビーム装置(FIB-SEM/EDS)

--前処理装置--

断面・平面イオンミリング(JEOL CP)

断面・平面イオンミリング(GATAN)

精密機械研磨装置(Leica EM-TXP)

ウルトラミクロトーム

低エネルギーイオンミリング装置(Gentle Mill)