【開催中止】2020年3月13日(金)「エレクトロニクスフォーラム(クリーンルーム使えます~電子線リソとフォトリソのご紹介~)」開催のご案内

※新型コロナウイルスの状況を鑑み、本フォーラムを中止することとなりました。

 このたび当研究所では、本フォーラムを、下記のとおり開催いたします。このフォーラムは、クリーンルーム関係設備をじっくり見学していただくことを、趣旨としています。

 皆様のご参加をお待ちしております。

開催要領

■日時

2020年3月13日(金曜日) 14:00~16:30

■場所

(地独)神奈川県立産業技術総合研究所(海老名市下今泉705-1

管理情報棟2階 講義室2-5

■申込方法

・下記の参加申込みフォームへ必要事項を記載のうえ、送信してください。

・事前申込締め切りは、3月12日(木) です。

■問合先

電子技術部 電子デバイスグループ   栗原 幸男

 電話:046(236)1500

開催スケジュール

14:00~14:10

◆ 開会挨拶

 神奈川県立産業技術総合研究所 電子技術部  栗原 幸男

14:10~14:25

■ 当研究所のクリーンルームのご紹介

 神奈川県立産業技術総合研究所 電子技術部  栗原 幸男

14:25~14:40

■ 当研究所のリソグラフィ加工技術

 神奈川県立産業技術総合研究所 電子技術部  安井 学

14:50 (実験室へ移動)

15:05~16:00

■ クリーンルームの見学

 神奈川県立産業技術総合研究所 電子技術部 栗原 幸男、安井 学、黒内 正仁

酸化炉、アライナ、スピナ、ドラフト、プラズマエッチング、電気炉、イオンプレーティング、

陽極接合、電子線描画

16:00~16:15

■ ファブラボの見学  

 神奈川県立産業技術総合研究所 電子技術部 金子 智

3Dプリンタ、レーザーカッター、超3D微細工光造形

16:20~16:30 

■ 質疑応答

 神奈川県立産業技術総合研究所 電子技術部 栗原 幸男、金子 智

16:30

◆ 閉会挨拶 

 神奈川県立産業技術総合研究所 電子技術部  栗原 幸男

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