【開催中止】2020年3月13日(金)「エレクトロニクスフォーラム(クリーンルーム使えます~電子線リソとフォトリソのご紹介~)」開催のご案内
※新型コロナウイルスの状況を鑑み、本フォーラムを中止することとなりました。
このたび当研究所では、本フォーラムを、下記のとおり開催いたします。このフォーラムは、クリーンルーム関係設備をじっくり見学していただくことを、趣旨としています。
皆様のご参加をお待ちしております。
開催要領
■日時 |
2020年3月13日(金曜日) 14:00~16:30 |
■場所 |
(地独)神奈川県立産業技術総合研究所(海老名市下今泉705-1) 管理情報棟2階 講義室2-5 |
■申込方法 |
・下記の参加申込みフォームへ必要事項を記載のうえ、送信してください。 ・事前申込締め切りは、3月12日(木) です。 |
■問合先 |
電子技術部 電子デバイスグループ 栗原 幸男 電話:046(236)1500 |
開催スケジュール
14:00~14:10
◆ 開会挨拶
神奈川県立産業技術総合研究所 電子技術部 栗原 幸男
14:10~14:25
■ 当研究所のクリーンルームのご紹介
神奈川県立産業技術総合研究所 電子技術部 栗原 幸男
14:25~14:40
■ 当研究所のリソグラフィ加工技術
神奈川県立産業技術総合研究所 電子技術部 安井 学
14:50 (実験室へ移動)
15:05~16:00
■ クリーンルームの見学
神奈川県立産業技術総合研究所 電子技術部 栗原 幸男、安井 学、黒内 正仁
酸化炉、アライナ、スピナ、ドラフト、プラズマエッチング、電気炉、イオンプレーティング、
陽極接合、電子線描画
16:00~16:15
■ ファブラボの見学
神奈川県立産業技術総合研究所 電子技術部 金子 智
3Dプリンタ、レーザーカッター、超3D微細工光造形
16:20~16:30
■ 質疑応答
神奈川県立産業技術総合研究所 電子技術部 栗原 幸男、金子 智
16:30
◆ 閉会挨拶
神奈川県立産業技術総合研究所 電子技術部 栗原 幸男
※フォーラム開催中止により、お申込フォームは閉鎖しました