【開催中止】2020年3月13日（金）「エレクトロニクスフォーラム（クリーンルーム使えます～電子線リソとフォトリソのご紹介～）」開催のご案内

※新型コロナウイルスの状況を鑑み、本フォーラムを中止することとなりました。

　このたび当研究所では、本フォーラムを、下記のとおり開催いたします。このフォーラムは、クリーンルーム関係設備をじっくり見学していただくことを、趣旨としています。

　皆様のご参加をお待ちしております。

■日時	2020年３月１３日（金曜日）　14:00～16:30
■場所	（地独）神奈川県立産業技術総合研究所（海老名市下今泉705-1）管理情報棟2階　講義室２-５
■申込方法	・下記の参加申込みフォームへ必要事項を記載のうえ、送信してください。・事前申込締め切りは、３月１２日(木)　です。
■問合先	電子技術部　電子デバイスグループ　　　栗原　幸男　電話：046（236）1500

14:00～14:10

◆　開会挨拶

　神奈川県立産業技術総合研究所　電子技術部　　栗原　幸男

14:10～14:25

■　当研究所のクリーンルームのご紹介

　神奈川県立産業技術総合研究所　電子技術部　　栗原　幸男

14:25～14:40

■　当研究所のリソグラフィ加工技術

　神奈川県立産業技術総合研究所　電子技術部　　安井　学

14:50　（実験室へ移動）

15:05～16:00

■　クリーンルームの見学

　神奈川県立産業技術総合研究所　電子技術部　栗原　幸男、安井　学、黒内　正仁

酸化炉、アライナ、スピナ、ドラフト、プラズマエッチング、電気炉、イオンプレーティング、

陽極接合、電子線描画

16:00～16:15

■　ファブラボの見学　　

　神奈川県立産業技術総合研究所　電子技術部　金子　智

３Ｄプリンタ、レーザーカッター、超３Ｄ微細工光造形

16:20～16:30　

■　質疑応答

　神奈川県立産業技術総合研究所　電子技術部　栗原　幸男、金子　智

16:30

◆　閉会挨拶　

　神奈川県立産業技術総合研究所　電子技術部　　栗原　幸男

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