「エレクトロニクスフォーラム(クリーンルーム使えます~電子線リソとフォトリソのご紹介~)」

新型コロナウイルス感染症防止対策をとり、最大5名の皆様に、来る12月15日、当所海老名本部のクリーンルーム設備を実際に見学していただきます。

当所のホームページに載っていない機器もご案内します。

会場 地方独立行政法人神奈川県立産業技術総合研究所 (KISTEC)
海老名本部 講義室2-6
(海老名市下今泉 705 -1)
開催日時 2020年12月15日(火) 14:30~16:30
定員 5名
参加費 無料
応募締め切り 2020年12月11日(金)
会場へのアクセス

こちらをご覧ください

主催 (地独)神奈川県立産業技術総合研究所

プログラム

当所のクリーンルーム紹介

講師:栗原(神奈川県立産業技術総合研究所 電子技術部)
当所のリソグラフィ加工技術

講師:安井(神奈川県立産業技術総合研究所 電子技術部)
クリーンルーム設備見学①

講師:栗原、馬場、安井、黒内(神奈川県立産業技術総合研究所 電子技術部)

【光材料基礎実験室】 電子線描画、マスクアライナ、膜厚計
クリーンルーム設備見学②

講師:栗原、馬場、安井、黒内(神奈川県立産業技術総合研究所 電子技術部)

【マイクロエレクトロニクス実験室2】 膜厚計、真空熱処理炉、熱酸化炉、スピナ、オーブン、マスクアライナ、ウェットステーション
クリーンルーム設備見学③

講師:栗原、馬場、安井、黒内(神奈川県立産業技術総合研究所 電子技術部)

【マイクロエレクトロニクス実験室1】 プラズマエッチング、ECRプラズマエッチング、プラズマアッシング、イオンプレーティング、抵抗加熱蒸着、電気炉、陽極接合

問い合わせ先

(地独)神奈川県立産業技術総合研究所
電子技術部 電子デバイスグループ  栗原
電話 046-236-1500(代表)

お申込みについて

    下記の項目を入力してください。

    注)半角カタカナ・機種依存文字は文字化けの原因になりますので使用しないでください。

    以下の内容で送信します。

    フォーラム名
    お名前
    お名前(ふりがな)
    所属名

    ※個人でお問い合わせの方は「個人」とご記入ください。
    所属の分類
    大企業中小企業大学公的機関その他
    郵便番号
    所在地
    メールアドレス
    電話番号
    今回のイベントを何で知りましたか?
    KISTECホームページKISTECメールマガジンその他(詳細を記載してください)
    KISTECメールマガジン

    (月間2回程度:KISTECで開催する技術フォーラム、企業人材育成事業やイベントなどをはじめ、当所をご利用の皆様のお役に立つ関係機関の情報提供)
    希望する既に登録している希望しない
    個人情報の取扱いについて
    個人情報の取扱いに同意する

      ※「プライバシーポリシー」に同意いただいた方のみ送信が可能です。

    お問い合わせありがとうございました。