【開催中止】「エレクトロニクスフォーラム(クリーンルーム使えます~電子線リソとフォトリソのご紹介~)」

※このフォーラムは、参加申込がなかったため中止となりました。

新型コロナウイルス感染症防止対策をとり、最大5名の皆様に、来る12月15日、当所海老名本部のクリーンルーム設備を実際に見学していただきます。

当所のホームページに載っていない機器もご案内します。

会場 地方独立行政法人神奈川県立産業技術総合研究所 (KISTEC)
海老名本部 講義室2-6
(海老名市下今泉 705 -1)
開催日時 2020年12月15日(火) 14:30~16:30
定員 5名
参加費 無料
応募締め切り 2020年12月11日(金)
会場へのアクセス

こちらをご覧ください

主催 (地独)神奈川県立産業技術総合研究所

プログラム

当所のクリーンルーム紹介

講師:栗原 神奈川県立産業技術総合研究所 電子技術部
当所のリソグラフィ加工技術

講師:安井 神奈川県立産業技術総合研究所 電子技術部
クリーンルーム設備見学①

講師:栗原、馬場、安井、黒内 神奈川県立産業技術総合研究所 電子技術部

【光材料基礎実験室】 電子線描画、マスクアライナ、膜厚計
クリーンルーム設備見学②

講師:栗原、馬場、安井、黒内 神奈川県立産業技術総合研究所 電子技術部

【マイクロエレクトロニクス実験室2】 膜厚計、真空熱処理炉、熱酸化炉、スピナ、オーブン、マスクアライナ、ウェットステーション
クリーンルーム設備見学③

講師:栗原、馬場、安井、黒内 神奈川県立産業技術総合研究所 電子技術部

【マイクロエレクトロニクス実験室1】 プラズマエッチング、ECRプラズマエッチング、プラズマアッシング、イオンプレーティング、抵抗加熱蒸着、電気炉、陽極接合

問い合わせ先

(地独)神奈川県立産業技術総合研究所
電子技術部 電子デバイスグループ  栗原
電話 046-236-1500(代表)

お申込みについて

申し込みは終了いたしました。恐れ入りますが、ご理解下さいますよう、お願いいたします。