【募集終了】令和３年度 第６回「ナノファブスクエアin海老名」開催のご案内
第６回 陽極接合
企業の技術者や大学研究者を対象に「陽極接合」に係る装置講習・実習会を開催します。
第６回は、ガラスとマイクロ流路を形成したシリコン基板を陽極接合する講義・実習を行います。陽極接合は、シリコンMEMSチップ実装の封止に使用される技術です。
ナノファブスクエアin海老名について
慶應義塾大学、早稲田大学、東京工業大学、東京大学からなる4大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアムでは、 川崎市、KISTECと連携し、産学連携による新しい技術や産業の創出を図るため、
新川崎・創造のもりのナノ・マイクロ産学官共同研究施設『NANOBIC』において、4大学の先端機器によるナノファブスクエアを開催しています。
ナノファブスクエアin海老名では、4回の講習・実習会を開催し、「首都圏地下鉄路線網シリコンマイクロ流路」を
モデルチップとし、シリコン酸化、シリコン異方性エッチング、ナノパターン形成および陽極接合について学ぶことができます。
日 時
令和３年７月１日（木）１３：３０～１６：３０ ―募集終了―
申込締切
定員に達しましたので、申込を締め切ります。たくさんのお申し込みをありがとうございました。
※先着順です。
※定員に余裕がある場合、申込締切日以降のお申込を受け付けます。
場 所
（地独）神奈川県立産業技術総合研究所（KISTEC）海老名本部
海老名市下今泉７０５－１（小田急線・相鉄線・JR海老名駅から徒歩約１５分）
講 師
安井 学（地方独立行政法人 神奈川県立産業技術総合研究所 電子技術部）
実習内容
加速度センサなどの封止に使用されるシリコンとガラスの陽極接合の実習を行います。
実習機器
陽極接合装置 アユミ工業製AB40特注品
詳 細
こちらをご覧ください。
年間スケジュール
こちらをご覧ください。
新型コロナウイルス感染症について
弊所では、神奈川県の方針に従い、新型コロナウイルス感染症拡大防止対策を進めております。
・マスク着用、手指消毒、ソーシャルディスタンスの確保等にご協力ください。
・クリーンルームでは、フェイスシールドの着用をお願いいたします。
・風症状、倦怠感、息苦しさがある方は、受講をご遠慮いただく場合がございます。
主 催
◆４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム
◆（地独）神奈川県立産業技術総合研究所
◆川崎市
定 員
５名程度（先着）
参 加 費
11,000円（実費）
保 証 書
こちらから保証書を印刷し、必要事項を記載の上、参加日当日お持ちください。
申込方法 
―募集終了―
| 重要（以下を必ずご確認ください） |
- ◆申込締切後、受講決定者には受講料請求書等の必要書類をお送りします。
- ◆講義中、許可なく講義内容の一部、およびすべてを複製、転載または撮影、配布、印刷など、第三者の利用に供することを禁止します。
- ◆やむを得ない事情により、日程・内容等の変更や中止をする場合があります。
- ◆保証書に必要事項をご記入の上、参加日当日にお持ちください。【保証書はこちら】
【個人情報の利用及び提供の制限】
申込書にご記入いただいた個人情報は、当所の事業等に関する情報の提供や参加者募集の案内等の範囲内で利用又は提供いたします。個人情報は、取り扱い目的以外に利用したり第三者に提供することはありません。
キャンセルについて
申込締切日（6/14）以降のキャンセルは出来ません。
問合せ先
（地独）神奈川県立産業技術総合研究所 人材育成部 教育研修課
TEL 046-236-1500
Eｰmail sm_sangyoujinzai@kistec.jp