令和2年度 第14回「ナノファブスクエア in 海老名」開催のご案内

第14回 シリコン異方性エッチング

 企業の技術者や大学研究者を対象に「シリコン異方性エッチング」に係る装置講習・実習会を開催します。
 第14回は、界面活性剤添加シリコン異方性ウエットエッチングによるマイクロ流路を形成します。

 

 ナノファブスクエアin海老名について

 慶應義塾大学、早稲田大学、東京工業大学、東京大学からなる4大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアムでは、 川崎市、KISTECと連携し、産学連携による新しい技術や産業の創出を図るため、
 新川崎・創造のもりのナノ・マイクロ産学官共同研究施設『NANOBIC』において、4大学の先端機器によるナノファブスクエアを開催しています。 
 ナノファブスクエアin海老名では、4回の講習・実習会を開催し、「首都圏地下鉄路線網シリコンマイクロ流路」を
 モデルチップとし、シリコン酸化、ナノパターン形成、シリコン異方性エッチングおよび陽極接合について学ぶことができます。

 

 

日  時


 令和3年1月14日(木)13:30~16:30 

 

申込締切


 令和3年1月6日(水)

 

場  所


 (地独)神奈川県立産業技術総合研究所(KISTEC)海老名本部

 海老名市下今泉705-1(小田急線・相鉄線・JR海老名駅から徒歩約15分)

 >>MAPはこちら

 

講  師


 黒内 正仁(地方独立行政法人 神奈川県立産業技術総合研究所 電子技術部)

 

実習内容


 シリコンー熱酸化膜をマスクとしてシリコンの結晶異方性エッチングでマイクロ流路作成の実習を行います。

 

実習機器


 ドラフト※、超純水製造装置装置

 ※ウエットステーションとして、間仕切りをした部屋にて酸・アルカリ及び有機溶剤等の薬液処理ができます。

 

詳細


 こちらをご覧ください。

 

年間スケジュール


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新型コロナウイルス感染症について


弊所では、神奈川県の方針に従い、新型コロナウイルス感染症拡大防止対策を進めております。

・マスク着用、手指消毒、ソーシャルディスタンスの確保等にご協力ください。

・クリーンルームでは、フェイスシールドの着用をお願いいたします。

・風症状、倦怠感、息苦しさがある方は、受講をご遠慮いただく場合がございます。

 

 

主  催


 ◆4大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム

 ◆(地独)神奈川県立産業技術総合研究所

 ◆川崎市

 

定  員


 5名程度(先着)

 

参  加  費


 11,000円(実費)

 

申  込  書


 申込書はこちら

 ※4大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム ナノファブスクエアin海老名 

  講習・実習会(参加申込書)をダウンロードしていただき必要事項をご記入後、

  申込先のメールアドレスへお送りください。

 

申  込  先


 (地独)神奈川県立産業技術総合研究所 人材育成部 教育研修課

 Eーmail sm_sangyoujinzai@kistec.jp