Effect of post annealing on MgO thin film prepared on silicon(001) substrate in high oxygen pressure and high substrate temperature by pulsed laser deposition

登録コード 629
タイトル Effect of post annealing on MgO thin film prepared on silicon(001) substrate in high oxygen pressure and high substrate temperature by pulsed laser deposition
キーワード
著者/共著者名 Satoru Kaneko ; Kensuke Akiyama ; Takeshi Ito ; Manabu Yasui ; Takeshi Ozawa ; Masayasu Soga ; Yu Motoizumi ; Mamoru Yoshimoto
誌名・書名 IOP Conference Series:Materials Science and Engineering
出版社 IOP Publishing
出版年月 2011年
巻−号 Volume 18, Symposium 1
ページ 1 - 4
言語
DOI http://dx.doi.org/10.1088/1757-899X/18/2/022018
関連部署
備考