Epitaxial Indium Tin Oxide Film Deposited on Sapphire Substrate by Solid-Source Electron Cyclotron Resonance Plasma

登録コード 641
タイトル Epitaxial Indium Tin Oxide Film Deposited on Sapphire Substrate by Solid-Source Electron Cyclotron Resonance Plasma
キーワード
著者/共著者名 Satoru Kaneko ; Hironori Torii ; Masayasu Soga ; Kensuke Akiyama ; Motoaki Iwaya ; Mamoru Yoshimoto ; Takao Amazawa
誌名・書名 Japanese Journal of Applied Physics
出版社 The Japan Society of Applied Physics
出版年月 2012年 1月
巻−号 51-1
ページ 01AC02-1 - 4
言語
DOI http://dx.doi.org/10.1143/JJAP.51.01AC02
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