Periodic nano trench structure fabricated by high speed scanning CW laser

登録コード 644
タイトル Periodic nano trench structure fabricated by high speed scanning CW laser
キーワード Continuous wave operation, Nanostructures, Near infrared, Silicon, Semiconductor lasers, Femtosecond phenomena, Laser irradiation
著者/共著者名 Satoru Kaneko ; Takeshi Ito ; Manabu Yasui ; Chihiro Kato ; Satomi Tanaka ; Takeshi Ozawa ; Yasuo Hirabayashi ; Akira Matsuno ; Takashi Nire ; Mamoru Yoshimoto
誌名・書名 Laser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacturing (LAMOM) XV11
出版社 SPIE
出版年月 2012年 1月
巻−号 8243
ページ 8243U1 - 7
言語 英語
DOI http://dx.doi.org/10.1117/12.905970
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