Epitaxial growth of(010)-oriented β-FeSi2 film on Si(110)substrate

登録コード 672
タイトル Epitaxial growth of(010)-oriented β-FeSi2 film on Si(110)substrate
キーワード thin film, semiconducting, epitaxy
著者/共著者名 Kensuke Akiyama , Hiroshi Funakubo and Masaru Itakura
誌名・書名 Mater.Res.Soc.Symp.Proc.
出版社 Materials Research Society
出版年月 2013年 3月
巻−号 Vol.1493
ページ
言語 英語
DOI http://dx.doi.org/10.1557/opl.2013.407
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