Preparation of Diamond-Like Carbon on Ti Film with Tetramethylsilane Buffer Layer

登録コード 707
タイトル Preparation of Diamond-Like Carbon on Ti Film with Tetramethylsilane Buffer Layer
キーワード
著者/共著者名 Satoru Kaneko, Takahiro Horiuchi, Takeshi Ito, Shin-ichi Takagi, Manabu Yasui, Mitsuhiro Saitoh, Takashi Matsunaga, Kaoru Ikenaga, Shigeo Yasuhara, Katsuhiro Mihirogi, Masazumi Kobayashi, Masao Kumagai, Eiji Shimodaira and Rieko Sudo
誌名・書名 Japanese Journal of Applied Physics
出版社 The Japan Society of Applied Physics
出版年月 2013年 11月
巻−号 VOL.52
ページ 11NA02-1 - 11NA02-4
言語 英語
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