Expansion of lattice constants of aluminum nitride thin film prepared on sapphire substrate by ECR plasma sputtering method

登録コード 712
タイトル Expansion of lattice constants of aluminum nitride thin film prepared on sapphire substrate by ECR plasma sputtering method
キーワード
著者/共著者名 Satoru Kaneko, Hironori Torii, Takao Amazawa, Takeshi Ito, Manabu Yasui, Masahito Kurouchi, Akinori Fukushima, Takashi Tokumasu, Seughwan Lee, Sungkyun Park, Hirofumi Takikawa and Mamoru Yoshimoto
誌名・書名 Japanese Journal of Applied Physics
出版社 The Japan Society of Applied Physics
出版年月 2014年 10月
巻−号 Vol.53 No.11
ページ 11RA11 - 11RA11-4
言語 英語
DOI http://dx.doi.org/10.7567/JJAP.53.11RA11
関連部署
備考