High Temperature Reproducible Preparation of Mg2Si Films on (001)Al2O3 substrates Using RF Magnetron Sputtering Method

登録コード 715
タイトル High Temperature Reproducible Preparation of Mg2Si Films on (001)Al2O3 substrates Using RF Magnetron Sputtering Method
キーワード thermoelectric, sputtering, film
著者/共著者名 Atsuo Katagiri, Shota Ogawa, Takao Shimizu, Masaaki Matsushima, Kensuke Akiyama and Hiroshi Funakubo
誌名・書名 Materials Research Society Symposium Proceedings
出版社 Materials Research Society
出版年月 2014年
巻−号 Vol. 1642
ページ
言語 英語
DOI http://dx.doi.org/10.1557/opl.2014.447
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