Preparation of Ca-Si Films on (001) Al2O3 Substrates by an RF Magnetron Sputtering Method and Their Electrical Properties

登録コード 739
タイトル Preparation of Ca-Si Films on (001) Al2O3 Substrates by an RF Magnetron Sputtering Method and Their Electrical Properties
キーワード
著者/共著者名 Mutsuo Uehara, Kensuke Akiyama, Takao Shimizu, Masaaki Matsushima, Hiroshi Uchida, Yoshisato Kimura, Hiroshi Funakubo
誌名・書名 Journal of Electronic Materials
出版社 Springer
出版年月 2016年 6月
巻−号 Volume 45, Issue 6
ページ 3121 - 3126
言語 英語
DOI http://dx.doi.org/10.1007/s11664-016-4404-x
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