Effect of microstructures on electrical conduction properties of β-FeSi2 epitaxial films

登録コード 746
タイトル Effect of microstructures on electrical conduction properties of β-FeSi2 epitaxial films
キーワード A1. Crystal morphology; A1. Electrical conduction property; A3. Chemical vapor deposition processes; B1. Inorganic compounds; B2. Semiconducting silicon compounds
著者/共著者名 Kensuke Akiyama, Teiko Kadowaki, Yasuo Hirabayashi, Hiroshi Funakubo
誌名・書名 Journal of Crystal Growth
出版社 Elsevier
出版年月 2017年 6月
巻−号 468
ページ 744 - 748
言語 英語
DOI http://dx.doi.org/10.1016/j.jcrysgro.2016.12.032
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