In-plane orientation and composition dependences of crystal structure and electrical properties of {100}-oriented Pb(Zr,Ti)O3 films grown on (100) Si substrates by metal organic chemical vapor deposition

登録コード 747
タイトル In-plane orientation and composition dependences of crystal structure and electrical properties of {100}-oriented Pb(Zr,Ti)O3 films grown on (100) Si substrates by metal organic chemical vapor deposition
キーワード
著者/共著者名 Shoji Okamoto, P. S. Sankara Rama Krishnan, Satoshi Okamoto, Shintaro Yokoyama, Kensuke Akiyama and Hiroshi Funakubo
誌名・書名 Japanese Journal of Applied Physics
出版社 IOP
出版年月 2017年 9月
巻−号 Vol.56 No.10S
ページ 1 - 5
言語 英語
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