Growth of (111)-oriented epitaxial magnesium silicide (Mg2Si) films on (001) Al2O3 substrates by RF magnetron sputtering and their properties

登録コード 751
タイトル Growth of (111)-oriented epitaxial magnesium silicide (Mg2Si) films on (001) Al2O3 substrates by RF magnetron sputtering and their properties
キーワード
著者/共著者名 Atsuo Katagiri, Shota Ogawa,Mutsuo Uehara, P. S. Sankara Rama Krishnan, Mao Kurokawa, Masaaki Matsushima, Takao Shimizu, Kensuke Akiyama, Hiroshi Funakubo
誌名・書名 Journal of Materials Science
出版社 Springer
出版年月 2017年
巻−号 Vol.53 Issue 7
ページ 5151 - 5158
言語 英語
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