Formation of Si2N2O Microcrystalline Precipitates near the Quartz Crucible Wall Coated with Silicon Nitride in Cast-Grown Silicon

登録コード 683
タイトル Formation of Si2N2O Microcrystalline Precipitates near the Quartz Crucible Wall Coated with Silicon Nitride in Cast-Grown Silicon
キーワード
著者/共著者名 Haruhiko Ono, Yu Motoizumi, Hiroki Kusunoki, Kuniyuki Sato, Tomihisa Tachibana and Atsushi Ogura
誌名・書名 APPLIED PHYSICS EXPRESS
出版社 The Japan Society of Applied Physics
出版年月 2013年 8月
巻−号 Vol. 6 No. 8
ページ 081303-1 - 081303-4
言語 英語
DOI http://dx.doi.org/10.7567/APEX.6.081303
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