添加剤を加えたN-メチル-2-ピロリドンによるSU8微細パターンの剥離

登録コード 756
タイトル 添加剤を加えたN-メチル-2-ピロリドンによるSU8微細パターンの剥離
キーワード SU8, Remove, NMP, LiCl, H2O
著者/共著者名 安井 学, 中野 一史, 黒内 正仁, 川野 伸一, 金子 智
誌名・書名 日本機械学会論文集
出版社 日本機械学会
出版年月 2018年 5月
巻−号 Vol.84, No.862
ページ 18 - 91
言語 日本語(抄録は英語)
DOI http://dx.doi.org/10.1299/transjsme.18-00091
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