Hydrogen-free fluorinated DLC films with high hardness prepared by using T-shape filtered arc deposition system

登録コード 761
タイトル Hydrogen-free fluorinated DLC films with high hardness prepared by using T-shape filtered arc deposition system
キーワード
著者/共著者名 Takahiro Imai , Toru Harigai , Tsuyoshi Tanimoto, Ryo Isono, Yushi Iijima , Yoshiyuki Suda , Hirofumi Takikawa , Masao Kamiya , Makoto Taki , Yushi Hasegawa , Satoru Kaneko , Shinsuke Kunitsugu , Mikio Ito
誌名・書名 Vacuum
出版社 Elsevier
出版年月 2018年 7月
巻−号
ページ
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DOI http://dx.doi.org/10.1016/j.vacuum.2018.07.009
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