Self-supporting tetrahedral amorphous carbon films consisting of multilayered structure prepared using filtered arc deposition

登録コード 762
タイトル Self-supporting tetrahedral amorphous carbon films consisting of multilayered structure prepared using filtered arc deposition
キーワード
著者/共著者名 Toru Harigai,Yu Miyamoto,Masafumi Yamano,Tsuyoshi Tanimoto,Yoshiyuki Suda,Hirofumi Takikawa,Takeshi Kawano,Mamiko Nishiuchi,Hironao Sakaki,Kiminori Kondo,Satoru Kaneko,Shinsuke Kunitsugu
誌名・書名 Thin Solid Films
出版社 Elsevier
出版年月 2019年 2月
巻−号 675
ページ 123 - 127
言語
DOI http://dx.doi.org/10.1016/j.tsf.2019.02.022
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